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切割碳化硅單晶硅片出現(xiàn)出刀倒角小崩邊 可能是什么原因 怎么解決
發(fā)布時間：2014-08-18 點擊次數(shù)：4365次
用金剛石線切割機或者砂漿切割機在切割碳化硅、單晶硅片的時候，在結束的時候會出現(xiàn)倒三角小崩邊情況，可能是什么原因呢？
我公司經(jīng)過金剛石線切割機搖擺方式的多次切割試驗，發(fā)現(xiàn)切割晶體脆硬材料的時候，出刀的一端經(jīng)常會出現(xiàn)一點倒角或者崩邊的情況，顯得切割結果不是那么。出現(xiàn)這種情況的原因可能是因為材料本身的一個重量，切割到結尾的時候，那個小點連接支持不住材料的重量，材料本身的重量往下掉落引起斷裂，從而出現(xiàn)一個小三角形。也就是說，到后出現(xiàn)的那個倒三角不是被切下來的，而是硬生生被它自己折斷的。
臥式和立式金剛石線切割機切割的碳化硅比較
這種情況其實是可以通過一些工藝上的改變來解決的。
一、增加粘合物
如果在切割的時候，在出刀的那一邊的表面用一些特殊的膠水或者石蠟等粘一些跟加工材料密度相差不是很大的材料，在切割的時候，連粘合的材料一起切割，就不會使被加工材料出現(xiàn)那種倒三角。
二、切割工藝改變
選用立式結構機床切割的時候，切割到后采用直切方式，并且放慢切割速度。并做好落料準備。
三、選擇臥式結構機床
避免落料引起的斷裂，可選擇臥式結構的機床。在加工件底下墊上10mm厚木板或者玻璃，切到底連玻璃或木板一起切斷，就能避免出現(xiàn)倒三角或者崩邊的情況了。
